受旅游限制，ASML延遲向中國客戶交付EVU光刻機
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4月1日消息，有媒體報道，中國廠商向ASML訂購的先進光刻機一而再的被阻礙，ASML對外表示：受到疫情的影響，公司提供給武漢以及其他地區(qū)客戶的EUV設備出貨，均受到了影響，同時公司的供應鏈出現(xiàn)了問題，目前已經(jīng)解決。
向ASML訂購EUV光刻機的中國芯片廠商應該就是中芯國際，早在1月份與去年11月份，ASML就因為延遲出貨而被質疑。
今年1月份，ASML CEO對外表示，已經(jīng)向荷蘭政府提交了中國客戶出貨的申請，但一直在審批。同時在去年11月份，有媒體報道，受到了美國的壓力ASML將暫停向中芯國際供貨。
追溯這條新聞，結果發(fā)現(xiàn)中芯國際是在2018年中旬向ASML訂購的這臺EUV光刻機，價格為1.2億美元，預計在2019年底交付，2020年正式安裝，但如今ASML始終沒有交付。
據(jù)了解，中芯國際的7nm以下制程將使用ASML供應的這臺EUV光刻機，目前中芯14nm已經(jīng)進入量產，12nm也已經(jīng)有了重大突破。
本文編輯：NJNR102
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